동관시금구자동화과학기술유한공사

원환형 스캐닝 측정: 일반적인 단일 점 또는 부분 측정 방식과 달리 박막 주위를 원환형 스캐닝 측정할 수 있습니다.이런 방식은 박막의 원주방향에서 여러 위치의 두께수치를 획득하고 박막두께의 분포상황을 전면적이고 세밀하게 반영하여 국부적인 측정으로 인한 오차와 루락을 피면하고 더욱 정확하고 완전한 박막두께정보를 제공할수 있다.